苏国萍
,
唐大伟
,
郑兴华
,
邱琳
,
杜景龙
工程热物理学报
碳化硅晶体具有很高的导热系数，能够在高温下操作，作为有希望用于微电子机械系统的材料，引起了人们的广泛关注。本文使用3ω方法测量了各向异性材料碳化硅晶体三个不同方向的导热系数。在碳化硅晶体样品的表面布置三个位置不同，一定尺度和形状的微型Au金属探测器。每个微型Au金属探测器的温度波动情况包含样品不同方向的热信号。根据谐波法测量原理和各向异性材料碳化硅晶体的导热特性，可得到碳化硅晶体样品X，Y和Z方向的导热系数。使用所设计的微型金属探测器结构，首次可同时获得各向异性材料三个方向的导热系数。
关键词:
SiC晶体
,
3ω方法
,
各向异性
,
导热系数
何龙
,
姚光
,
潘泰松
,
高敏
,
林媛
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2016.09.09
电子设备小型化带来的热效应问题,使得提高薄膜材料热导率和降低薄膜与基底的界面热阻成为提高薄膜器件可靠性的关键因素,因此测量薄膜器件热性能成为了电子工业中愈发重要的课题.钙钛矿结构的钛酸钡作为一种高介电常数材料,在电子工业中被广泛使用.通过建立一套3ω法测试系统,测试了使用高分子辅助沉积法在SiO2薄膜上沉积的钛酸钡薄膜样品的热导率,并通过不同厚度薄膜热阻与热导率的关系,计算出钛酸钡薄膜的热导率为5.63 W/mK,钛酸钡与SiO2的界面热阻为2.13×10-8 m2W/K.
关键词:
3ω法
,
钛酸钡
,
热导率
,
界面热阻
吴熔琳
,
邵铮铮
,
石剑豪
,
常胜利
,
张学骜
,
李新华
材料导报
综述了3ω方法的基本原理、测试系统、测量方法、最新应用以及发展趋势.在此基础上讨论了3ω方法在一些典型微纳米材料热物性测量的应用,着重介绍了其在薄膜材料、一维材料以及液体和纳米流体的测试方法,3ω方法在这些材料的测量上原理基本相同,但测试系统各有特点.
关键词:
3ω法
,
微纳米材料
,
热导率
